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一、加热系统维护
1.1 电阻丝/加热棒保养
月度检查：
测量电阻值偏差≤±5%（记录初始值为基准）
清除表面氧化层（使用400目碳化硅砂纸）
检查接线端子紧固度（扭矩值参考设备手册）
年度大修：
更换变形量＞3%的加热元件
重新填充氧化镁粉（湿度＜1%）
1.2 热电偶校准
校准周期：
K型热电偶：每3个月
S型热电偶：每6个月
方法：
python
# 校准温度点选择示例
calibration_points = [200℃, 500℃, 工作温度]
二、真空系统维护
2.1 机械泵保养
项目周期标准
油位检查每周视窗1/2-2/3处
油品更换2000小时粘度变化＜15%
过滤器清洗500小时压差＜0.1MPa
2.2 扩散泵维护
换油操作：
预热至80℃后排油
用丙酮清洗内壁
加注新油至规定液位（±2mm）
冷阱保养：
每月除霜（液氮冷阱需检查杜瓦瓶真空度）
三、气路系统维护
3.1 气体管路检查
泄漏测试：
保压测试：0.5MPa下30分钟压降＜1%
氦质谱检漏：漏率＜1×10⁻⁶Pa·m³/s
3.2 阀门维护
电磁阀：
每季度清洗阀芯（酒精超声清洗）
检查线圈电阻（与标称值偏差＜10%）
气动阀：
每月检查气缸密封圈
每半年更换减压阀滤芯
四、冷却系统维护
4.1 水冷系统
水质管理：
电导率＜50μS/cm（建议使用去离子水）
每月检测pH值（6.5-8.5）
管路清洗：
每年酸洗（5%柠檬酸溶液循环2小时）
4.2 风冷系统
风机保养：
每月清洁叶片（压缩空气吹扫）
每季度润滑轴承（高温润滑脂）
五、日常点检清单
5.1 操作前检查（每日）
真空泵油位/颜色
冷却水压力（0.2-0.4MPa）
应急泄压阀状态
炉门密封圈完整性
